FlexXpect-PV

PV leverer skræddersyet funktionalitet til at ensrette wafere og inspicere dem for hak og revner. Den omfatter:

• Nem og intuitiv opsætning
• Automatisk udtrækning og indlæring for PV-waferen
• Præcise inspektioner med kameraer med høj opløsning
• Automatisk robotkalibrering
• Fade-out-strenge og transportbånd

Understøttede PV-inspektioner:

• Præcis ensretning af wafer og strenge
• Nøjagtig inspektion for hak i furer
• Registrering af meget små hak i kanten
• Ensretning af samleskinne på waferen